非接触3D测量传感器WLI-Unit

• 可使用白光干涉进行非接触式高精度细微表面性状测量，例如，3D形状测量、3D粗糙度测量

• 不依赖于光学倍率的高度测量精度：即使是低倍率镜头，也可使用Z向高分辨力进行测量

• 高纵横比测量：不依赖于光学系统的NA进行检测，支持高纵横比形状测量

• 抗干扰振动的高稳定性

• 小型轻便